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表面等离子体共振（SPR）器件具有结构简单、灵敏度高及抗电磁干扰性能力强的特点，在光信号传输、生物检测和食品分析等领域得到了越来越广泛的应用。表面等离子体波（SPW）紧密沿着金属和介质的表面的传输，对金属的表面结构极其敏感，因此表面等离子波导对工艺精度有要求较高要求。论文针对表面等离子体波对金属结构敏感问题，优化波导制备工艺，利用聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）代替光刻胶作为湿法腐蚀制备金波导的掩膜，从而避免了在波导表面产生残余光刻胶，对波导的光传输特性产生不利影响。论文主要从以下几方面展开研究：表面等离子体波导器件的制备。国内外广泛使用剥离法制作表面等离子体器件，其表面平整度好，但侧壁容易产生鲨鳍形状的不规则突起。本文尝试使用上包层材料PMMA作为掩膜，在碘、碘化钾混合溶液中腐蚀出金属波导图形，无需去除掩膜，直接旋涂PMMA上包层。此方法可同时保留了表面平坦和侧壁陡直的双重优点。对金属波导进行原子力表征，结果显示表面等离子体金波导表面粗糙度小于1nm，侧壁陡直度大于85°，可满足长程表面等离子体波（LRSPP）的传输要求。通过光纤耦合法实现SPR的激发，在1550nm波长下，宽6μm、厚20nm的LRSPR波导传输损耗约为8dB/cm。表面等离子体折射率传感器的制备。折射率传感器的波导区材料为SU-8。使用光刻胶BP212作为掩膜，湿法腐蚀法制作等离子体传感区。实验中金属薄膜厚度固定在20nm，薄膜宽度从2μm到18μm共制作9批传感器件，以此测量不同金属薄膜宽度对传感器的性能的影响，表面等离子体传感器的测试。分别使用波长1550nm、650nm的输入光进行测试。结果表明，无论是650nm、1550nm的输入光，都在传感区为20nm厚、6μm宽时输出光强变化达到最大。因此，使用1550nm波长的输入光，传感器的传感区6μm宽、20nm厚时有最佳传感效果。本文分别对LRSPR金波导和SPR折射率传感器两种器件的工艺进行摸索。最后得到LRSPR金波导的平均传输损耗约为8dB/cm，SPR传感区在6μm宽、20nm厚时有最佳传感效果。