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本文对纳米金刚石薄膜的制备及光学性能进行了研究。文章采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)法，通过优化沉积参数制备出了晶粒大小和表面粗糙度都达到纳米级的金刚石薄膜。并运用SEM、AFM、XRD和Raman光谱仪等手段研究了纳米金刚石薄膜的表面形貌、粗糙度和结构。采用椭圆偏振光谱技术测量了纳米金刚石薄膜在近红外波段的光学参量，讨论了拟合模型的建立，获得了折射率n和消光系数k、薄膜厚度等参数。在此基础上，对薄膜在相应波长范围内的光学透过率、吸收系数、禁带宽度等光学性能进行了研究，同时讨论了退火处理对上述性能的影响。