【摘 要】
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微驱动器是微机电系统中的重要部件,在微量化学分析、微量药剂控制、太空微型推进系统和机器人等领域具有广泛的应用前景。石蜡相变驱动作为微驱动器的一种,具有体积膨胀率大的特点,能够同时提供大位移和大驱动力。此外,这种相变微驱动还具有结构简单,制作方便,成本低廉等优点。传统石蜡相变驱动的加热方式主要为电阻加热,其加热器位于石蜡腔室外部时,需要较长时间的热传导,且热传递效率低,响应时间较慢。而当加热器位于石
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微驱动器是微机电系统中的重要部件,在微量化学分析、微量药剂控制、太空微型推进系统和机器人等领域具有广泛的应用前景。石蜡相变驱动作为微驱动器的一种,具有体积膨胀率大的特点,能够同时提供大位移和大驱动力。此外,这种相变微驱动还具有结构简单,制作方便,成本低廉等优点。传统石蜡相变驱动的加热方式主要为电阻加热,其加热器位于石蜡腔室外部时,需要较长时间的热传导,且热传递效率低,响应时间较慢。而当加热器位于石蜡腔室内部时,加热速度快,热传导效率高,但该结构需要在石蜡腔室内部引入电极或导线,结构复杂,制作难度大。
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