【摘 要】
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电容式传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、防震动特性较好、成本低、工艺简单等特点;但是其电容引线困难、额定电容量小(大约为几皮法到几十皮法),受寄生电容的
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电容式传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、防震动特性较好、成本低、工艺简单等特点;但是其电容引线困难、额定电容量小(大约为几皮法到几十皮法),受寄生电容的影响较大以及输出特性的非线性是电容式传感器应用中的一大难题,该论文研制了一种新型的微机械上举式差动电容压力传感器,解决了引线难的问题,同时设计了一种简单实用的变换电路,解决微小电容变化量的精密检测;并使用软件完成了对电容式传感器温度非线性的补偿.
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