光电检测技术是光学与电子学技术相结合而产生的一门新兴检测技术,它为现代测试技术奠定了基础,开辟了无损非接触测量的新方法.我们提出了一种新颖的基于共焦显微镜技术(共焦显微术)和低相干干涉测量法的非接触式测量方法,解决多层介质几何厚度和折射率同时测量的难题.测量系统由光学测试平台、信号调理电路、测量软件三大主要部分组成.该论文讨论了该测量方法涉及到的一些相关理论和方法,进行了测量系统光学及机械部分的设计,完成了硬件电路,包括输入阻抗提高电路、直流电平偏置电路、放大电路,滤波电路和限幅电路等的设计、安装和调试.同时该文还完成了软件系统,包括A/D数据采集、数据转换、数字信号处理、数据显示和存储等的设计和调试工作.最后对测量过程、数据处理和误差分析进行了详细的讨论.该测量系统突破了单一测量介质折射率或厚度的方法,既能测量多层介质的折射率,又能同时测量多层介质的几何和光学厚度.用该文提出的方法测试了两层玻璃和一层空气的样品,得到的各层几何厚度和折射率与样品实际厚度及理论折射率值有很好的一致性.验证了该文理论分析的正确性和提出的测量方法的有效性和可靠性.