光伏发电是解决当今世界环境问题和能源问题的重要途径之一，如何提高光电转化效率始终是太阳能电池研究的核心问题。提高光电转化效率的关键环节之一是降低硅片表面反射率，吸收更多的光以产生电子空穴对。通过化学腐蚀法在硅片表面形成具有金字塔的绒面，绒面可以对光线进行二次反射和折射，从而使更多的光线进入晶体硅中。利用碱与硅的异性腐蚀原理，设法制备出尺寸小、分布均匀、形貌理想的绒面结构，从而实现单晶硅表面的低反射。本文根据碱液与硅反应的机理，定性描述了硅表面与碱反应产生异向腐蚀特性的原因，探索改变异向腐蚀特性的基本方法以及调控单晶硅表面金字塔大小、分布的技术手段。论文详细研究了不同配液对单晶硅表面金字塔大小、分布的影响。实验研究发现；当OH—浓度为1%、乙醇浓度13.4%时，金字塔绒面结构最为适合，无论金字塔尺寸，绒面均匀程度，覆盖面积都为最佳状态。进一步研究发现：乙醇有减缓腐蚀速率和使生成的气泡迅速脱离硅片表面的作用。论文进一步研究了不同的活性剂对碱液与硅的异向腐蚀特性影响，通过SEM观察样品表面的结构，发现不同的活性剂以及同一种活性剂不同含量均能有效改变碱的腐蚀特性。实验上分别研究了碱液+活性剂、TMAH溶液、碱液+硅酸钠溶液腐蚀的单晶硅表面结构。实验研究发现：普通的碱液腐蚀的单晶硅表面上能形成金字塔的绒面，但金字塔尺寸相差大、而且分布不均匀；TMAH溶液腐蚀的单晶硅表面，表面上单位面积金字塔数量增加，但金字塔尺寸相差大，分布不均匀，说明TMAH能提高金字塔的成核速率；含阴离子活性剂的碱液能在单晶硅表面上能腐蚀出1-4μm、分布均匀的金字塔绒面，而且绒面反射率可以下降到12%以下，说明阴离子活性剂能有效改变异向腐蚀速率，能有效调节绒面金字塔的形貌、大小。