电火花加工可加工任意导电材料,并且在加工过程中工件与工具电极不接触,为非接触加工。微细电火花可加工微型孔及其他形状的微型腔,且加工能力与工件材料的硬度、强度无关。微细电火花加工技术广泛应用在喷油嘴及航空发动机涡轮叶片的微细孔加工和微模具制造上。电火花加工中,工件与工具电极在工作液中达到一定间隙,形成脉冲火花放电,使得工件部分材料熔融、气化,加工过程中工件与工具电极间不存在机械接触力。但是静电吸引力、电磁力、工作液流动冲刷力、放电爆炸力和气泡的膨胀与坍塌带来的反应力等非接触力存在于加工区域中。电火花线切割加工中前述力引起电极丝的振动,影响加工精度。电火花微孔加工中存在同样的问题,但目前很少有文献涉及电火花微孔加工中工具电极的振动问题。本文在现有的卧式微细电火花加工机床的基础上,编制了一套机床数控程序,主要包括坐标显示及原点设定、快速定位、单步进给、工具电极加工、微孔加工、主轴旋转控制、位置探测、停止加工、加工过程信号显示模块,为完成本论文的实验研究奠定了基础。本文基于弹性力学,建立了工具电极振动理论模型,并设计实验验证了模型准确性及实际应用的可行性。实验验证的结果表明,在同一实验条件下,加工15组微孔,有14组微孔的孔径理论计算值和实际测量值差值绝对值在0.25umm到2.56um之间,其相对误差在3%以下；在9组微孔的模型应用性验证实验中,有8组微孔的孔径理论计算值与实际测量值差值绝对值介于O.1lum到2.04um,其相对误差在3%以下；在6组不同实验条件应用性验证实验中,6组微孔的孔径理论计算值与实际测量值差值绝对值介于0.13umm到2.84um,其相对误差均在3%以下。证明了电极振动理论模型的有效性。本文对实验结果对比中的误差原因进行了分析,并探索了不同实验条件下理论模型的可用性。本文亦探索了不同电压、电容等电参数条件对微孔加工中工具电极振动的影响,研究发现工具电极变形幅值随电压增大而增大,随电容增大先变小后变大。