【摘 要】
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该文系统地研究了采用脉冲激光沉积(PLD)法制备的BaTiO薄膜的结构特性、生长特性和生长机理;BaTiO薄膜氧含量的定量分析及其对电学性能的影响;并采用高温X射线衍射(XRD)法对B
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该文系统地研究了采用脉冲激光沉积(PLD)法制备的BaTiO<,3>薄膜的结构特性、生长特性和生长机理;BaTiO<,3>薄膜氧含量的定量分析及其对电学性能的影响;并采用高温X射线衍射(XRD)法对BaTiO<,3>薄膜的相变进行了研究.首先,研究人员发现,沉积过程中的氧压对BaTiO<,3>薄膜的晶相及晶轴取向有决定性影响.研究人员还研究了基片对BaTiO<,3>薄膜晶体结构的影响.用高温XRDθ-2θ扫描的方法,研究人员首次对BaTiO<,3>薄膜的相变进行了研究.研究人员用卢瑟福背散射(RBS)的方法测定了不同氧压下制备的BaTiO<,3>薄膜的化学组分,特别是氧含量.研究人员还研制了一种新的下电极材料--LaNiO<,3>.特别是,研究人员在用PLD方法制备BaTiO<,3>薄膜的动态过程中引入直流电场(ˉ250V),以引导BaTiO<,3>薄膜的生长取向,使得在高氧压下制备出c取向的BaTiO<,3>薄膜,并且有效地提高了BaTiO<,3>薄膜的铁电性;研究人员认为这是在生长过程中,在外电场诱导下使BaTiO<,3>薄膜单畴化的结果.
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