CXM100-2W移相式斐索干涉仪关键技术研究

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光干涉计量测试技术是一种高精度测量技术,在光学系统光学参数测量上有广泛用途。结合CXM100-2W式干涉仪的研制,研究了项目所涉及的关键技术。综述了干涉仪在光学面形,光学系统,像质评价上的一些应用。研究了测量光学材料的折射率不均匀性5种方法,建立了四步测量法的数理模型,并且在所研制的CXM100-2W式干涉仪上进行了样品材料的具体测量,在消除了系统误差的情况下,准确的得到了样品材料的折射率不均匀性分布。针对实验室球径仪长期使用后测量环磨损的问题,提出了利用数字波面干涉仪来标定球径仪的方法,通过测量出球径仪所配的标准样板的曲率半径,来校正球径仪的测量环半径,分析了球径仪测量的误差来源。研究了移相式数字干涉仪光机电算一体化技术,并且完成了CXM100-2W式干涉仪的软硬件系统联调和功能扩展。
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