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纳米操控系统末端执行工具的表面形态和特性是影响纳米操作精度的重要因素。随着纳米科技的快速发展,制备高性能的末端执行工具成为纳米操控技术的研究热点之一。纳米探针是最常用的纳米操作末端执行工具,常用的制备方法有研磨法、剪切法、超高真空场离子显微镜、电化学腐蚀法等,其中电化学腐蚀法因设备简单、重复性好、成本低廉等优点而备受青睐。本文以制备适用于纳米材料操作的大长径比钨探针为目的,设计一套基于动态电化学腐蚀法的钨探针制备系统并进行工艺分析。主要研究内容如下:(1)针对纳米操作的特点及要求,提出了动态电化学腐