【摘 要】
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随着通信、电子等领域的飞速发展,小型化、低成本、高性能的电子器件越来越成为研发的热点,尤其是在射频收发系统中,滤波是不可缺少的环节,滤波器的更高性能和更小尺寸成为新
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随着通信、电子等领域的飞速发展,小型化、低成本、高性能的电子器件越来越成为研发的热点,尤其是在射频收发系统中,滤波是不可缺少的环节,滤波器的更高性能和更小尺寸成为新的设计方向,传统工艺的滤波器并不能兼备高的滤波器性能和小的器件尺寸,而低温共烧陶瓷技术的不断发展,为两者兼备的滤波器设计带来可能。本文采用低温共烧陶瓷技术进行六阶带通滤波器的设计,采用阶梯阻抗谐振器结构实现灵活设计,实现了 S波段的高性能、高抑制的带通滤波器的设计,滤波器的整体尺寸仅为6.8mm×4.2mm× 1.5mm。滤波器作为THz设备必不可少的电子器件,对其进行研究和设计具有重大的意义。本文采用基片集成波导结构进行了 THz带通滤波器的设计,采用硅基垂直通孔技术进行通孔的制作,保证了通孔的孔径精度,抑制了 THz滤波器中心频率的漂移,结合集成电路的3D堆叠技术,进行基片集成波导谐振腔的立体化堆叠,满足滤波器的小型化需求。
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