SnO<,2>：Al/Zn透明导电薄膜的制备及表征

被引量 : 3次 | 上传用户：rurucaihongru

【摘要】

：

二氧化锡(SnO2)是一种非常重要的透明导电氧化物(TCO)材料。SnO2透明导电薄膜具有宽带隙(Eg=～3.6 eV),高电导率,在可见光以及深红外区域具有良好的透过性能,具有良好的化学稳定性及吸附性,且SnO2薄膜成本低廉、储量丰富、无毒等优点使其广泛应用于液晶显示器、太阳能电池、发光二极管以及气敏传感器等领域。但是,目前应用最多的TCO薄膜(如In2O3:Sn、SnO2:F等)均为n型导电,

【作者】

：

赵江

【机构】

：

武汉理工大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

SnO2:Al SnO2:Zn 透明导电薄膜磁控溅射热扩散

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