【摘 要】
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该文对大功率激光光束质量的测量技术做了较为系统地研究.探讨了光束质量的相关理论和评价方法,详细分析了系统性能参数对测量精度的影响,并介绍了测量系统的研制和实际的应
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该文对大功率激光光束质量的测量技术做了较为系统地研究.探讨了光束质量的相关理论和评价方法,详细分析了系统性能参数对测量精度的影响,并介绍了测量系统的研制和实际的应用情况.通过浅析大功率激光光束质量对加工的影响,探讨了研究大功率激光光束质量测量技术的意义.分析了目前大功率激光光束质量测量中采用的几种常用的方法,通过比较它们各自的使用范围和优缺点,指出空心探针测量方法具有测量精度高、可以测量聚焦光斑,并能实现实时在线测量等诸多优点,是一种较为先进的测量方法.在回顾和总结利用模式理论分析高斯横模激光束场分布特点及光束参数的基础上,该文详述了激光束传输特性参数测量的基础----矩量分析理论和方法.介绍了二阶矩、光束参数积、衍射极限倍数因子M<2>和光束传输因子K的概念和意义;典型单模和多模激光束M<2>因子的计算.介绍了ISO标准文件规定的激光束传输特性参数测量步骤、评价方法和有关的计算公式.
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