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单壁碳纳米管因其具有独特的结构和优异的电学性质而成为气体传感器的理想材料。本论文对气体传感器测试系统的设计、碳纳米管气体传感器的制备工艺及其传感性能进行了探索和研究,主要成果包括:
1.设计并构建了气体传感器的测试系统。该系统采用动态配气方法配气,具有精度高,气体浓度可低至1ppm以下,重复性好,响应速度快,稳定可靠,工作压力范围宽等优点;电学测量部分可为传感测试提供可靠灵活的电学连接和高精度的电学性质测量系统,同时具有空间电磁场屏蔽和温度调节等功能。
2.对碳纳米管传感器的制备工艺进行了探索:设计了具有特殊标记的模板制备基底;利用超长碳纳米管及具有特殊标记的基底,结合电子束刻蚀技术高效地制备出碳纳米管传感器;另外,利用制备阴影掩模技术也成功地制备出了碳纳米管传感器。
3.研究了单壁碳纳米管及其修饰银纳米粒子后对氨气的检测性能,发现银纳米粒子修饰后的单壁碳纳米管传感器的灵敏度明显增加;探索了门电压对检测性能的影响,发现在复合门电压下氨气检测的灵敏度有数量级的提高。