光纤传感器因其具有高灵敏度,良好电磁兼容特性以及可远距离传感等优点在生物医学、健康监测、环境监测以及国防军事等领域得到广泛应用。近年来,随着光纤传感器技术的发展,人们越来越重视光纤传感器的小型化,低功耗和低成本技术。本论文对基于光纤表面金属化、光纤表面图形化、功能化的传感技术进行了研究,并对基于纳米银膜的光纤微传感器的制作及其传感特性进行了深入研究。第一章主要介绍了实现光纤微传感器的关键技术,如：光纤刻蚀技术、光纤表面金属化、光纤表面图形化等技术进展,阐述本论文的研究目的与意义。第二章通过化学镀膜和电化学镀膜方法,实现了在光纤表面金属银膜的制备,实验结果表明在光纤表面制备的金属银镀层致密,且厚度可通过实验参数进行控制,为实现多种类型光纤微传感器的制作提供了基础；同时还对光纤表面真空热溅射镀膜技术进行了研究,设计出用于旋转热溅射镀膜的夹具。第三章采用低成本的菲林片光刻掩模模板,基于MEMS微加工技术,设计并制作了几种用于光纤微结构加工的夹具；并利用光纤微加工夹具,实现了光纤表面的图形化。第四章采用化学镀银工艺制备的纳米银膜,制作了基于法布里-泊罗腔结构光纤微传感器,对其压力、温度等传感特性进行了深入的研究,实验获得其压力灵敏度和温度灵敏度分别为70.5nm/kPa和39.3nm/℃,与已有文献报道结果相比,该传感器压力灵敏度提高一个量级；并在此基础上,我们对该纳米银膜的音频响应特性以及杨氏模量进行了初步探讨。第五章对本论文的工作做了一个总结,并提出了工作中一些不足之处和改进的意见。