【摘 要】
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论文研究目的有两个:一,重点研究有限单元法在微结构中的应力应变分析运用;二,基于有限单元法和ANSYS软件,分析被检测斜锲应变和电容传感器中E型膜应力,设计薄膜微量应变传感
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论文研究目的有两个:一,重点研究有限单元法在微结构中的应力应变分析运用;二,基于有限单元法和ANSYS软件,分析被检测斜锲应变和电容传感器中E型膜应力,设计薄膜微量应变传感结构.一般微量应变测量方法,主要是用电阻应变片、半导体敏感材料粘贴被测物体表面或是嵌入被测物体内部,这种方式在工业机器内部具体应用时存在缺陷:一,传感器所处环境恶劣,影响半导体传感器精度与稳定性;二,当机器零部件尺寸精度高、参数不能改变、零部件之间间隙微小时,传感器无法安装;三,电阻应变计灵敏度系数低.基于以上主要原因,论文设计一种微量应变间接传感结构——硅微薄膜传感结构.在整个分析过程中体现论文的理论和实际意义.
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