本论文是在国家科技部集成光电系统973项目的支持下，于北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室完成的。 本文设计的一种全新的射流陀螺——MEMS射流角速率传感器，首次将MEMS技术应用于射流角速率传感器的制作。射流角速率传感器是利用气体射流束在哥氏力作用下发生偏转的现象来检测角速度的，器件内部没有可动的机械部件，抗过载和抗冲击能力非常好。然而，到目前为止，文献中所报道的射流角速率传感器都是采用传统的机械陀螺加工方法制作的，体积和成本难以进一步降低，限制了其应用范围。文中首次提出了采用MEMS生产技术来对射流陀螺进行微型化这一研究思路，本文所设计的MEMS射流角速率传感器不仅具有抗冲击和抗过载的特点，而且还将具有体积小、重量轻、功耗低、成本低的优点，将极大的扩展射流陀螺的应用领域。 本文设计的MEMS射流角速率传感器是以热线流速计理论和射流泵理论为基础，采用MEMS工艺在硅衬底和玻璃衬底上制作的。文中对其结构设计和工作原理进行了详细的论述，并用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证；设计了用于制作MEMS射流角速率传感器的版图，对关键工艺步骤进行了深入细致的研究，开发了一整套工艺方案并进行了流片试验，对流片过程中遇到的问题进行了讨论并提出了解决的办法；最后，对流片得到的MEMS射流角速率传感器进行了封装和初步测试。