【摘 要】
：
氟化非晶碳薄膜是用于超大规模集成电路的一种重要的低介电常数材料,作为电介质薄膜其热稳定温度必须达到平面工艺的温度要求(400℃),氟化非晶碳薄膜的低介电常数和高热稳定性之间存在一种相互制约关系,如何保证a-C∶F薄膜介电常数相对较低的同时尽量提高其热稳定性成了目前倍受关注的课题。 本文选用了两种气体组合:CF_4/CH_4/Ar和CF_4/CH_4/N_2,采用PECVD方法,在抛光的硅片和
论文部分内容阅读
氟化非晶碳薄膜是用于超大规模集成电路的一种重要的低介电常数材料,作为电介质薄膜其热稳定温度必须达到平面工艺的温度要求(400℃),氟化非晶碳薄膜的低介电常数和高热稳定性之间存在一种相互制约关系,如何保证a-C∶F薄膜介电常数相对较低的同时尽量提高其热稳定性成了目前倍受关注的课题。 本文选用了两种气体组合:CF_4/CH_4/Ar和CF_4/CH_4/N_2,采用PECVD方法,在抛光的硅片和石英片上制备了氟化非晶碳(a-C∶F)和掺氮氟化非晶碳(a-C∶F∶N)薄膜,并对制
其他文献
2013届毕业了,作为高三(16)班的班主任,该总结的很多.取得的成绩有目共睹,我只想谈一下对新课改三维目标的情感态度与价值观的现实体验.rn一、平淡是真,时间再长也疏淡不了真
超声清洗是功率超声应用中最为广泛的一种,它具有清洗速度快、清洗质量高、成本低且易实现自动化等优点。超声清洗的物理机制是超声空化、冲击波、微声流以及清洗液本身的振动效应,而空化作用被认为是超声清洗的主要物理机制。超声空化的强弱与声学参数(诸如声强、频率等)和清洗液的物理化学性质(诸如清洗剂的去污能力、表面张力、蒸汽压、黏度等)有关,要达到良好的清洗效果,必须要选择适当的清洗液和声学参数。除此之外,超
由于高中政治学科自身理论性、政治性较强以及与时事政治相结合的特点,这也给政治教学带来了不小的困难.鉴于以上问题,为了充分发挥高中思想政治课的重要作用,必须逐步改进,
在教学过程中,语文教师关注最多的就是如何按部就班地完成教学任务,常常把自己的阅读理解,硬塞给学生,而缺失了教师与学生的有效交流和沟通,因而大大影响了课堂教学的有效性.
中职学生作为民办高校学生的重要组成部分,已经越来越受到社会的关注,对他们的教育管理也面临挑战.文章从三个方面阐述了对中职学生做好教育管理工作的观点:以坚持思想政治教
农村小学在办学条件、师资力量等方面相对落后,学校发展相对缓慢,学校的教学管理工作也自然而然落后于城镇,教学工作是学校工作的重中之重,要较快的促进农村小学的发展,校长
为了进一步揭示光场与原子相互作用系统的量子特性,充实传统量子光学的内容,同时也为了更好地理解和发展量子信息理论,本文将量子信息论中的熵理论、纠缠理论、保真度理论运
本文主要研究了一维准周期和周期结构光子晶体中局域模式的特性及其潜在应用，主要包括以下两个方面的内容： 首先，应用转移矩阵方法详细研究了一维准周期(扩展Cantor分形)
常看到各位班主任老师和我一样忙忙碌碌、整日琐事缠身,下班“看学生”、“看早操”“看自习”,“看……”因此,就有了班主任要四勤之说,腿勤、眼勤、嘴勤、手勤.其实班主任
小学生具有着活泼好动,好奇心强的特点,往往容易因为自己的天真而犯错.在这样的背景下,就需要小学班主任在进行管理的过程中,采取柔性管理的管理方式,而柔性管理的方式是从刚