电解加工是利用金属在电解液中发生阳极溶解的原理，将零件加工成形的，其材料的减少过程以离子的形式进行。由于电解加工具有无工具损耗、加工材料范围广、加工后零件表面无变形和再铸层等优点，成为航空航天，兵器制造等国防工业生产中的关键技术之一。特别是电解加工以离子的形式对材料进行去除的特点，使得其在微细加工中具有一定的发展潜力。研究和掌握微细电解加工的关键技术，研制开发微细电解加工系统，深入研究微细电解加工工艺，并结合制造业中大量存在的Meso-scale(尺寸为几微米至几百微米)的微细结构，将微细电解加工用于实际工业应用研究，具有重要的现实意义。　　结合研究人员多年来在电解加工技术领域的研究工作及国内外微细电解加工技术的最新研究进展，本文重点在以下几个方面进行了深入研究：　　1、在充分分析微细电解加工技术特点的基础上，为了满足微细电解加工试验需要，独立研制了一台微细电解加工机床，并对该微细电解机床的进给系统、旋转主轴系统及电极回转精度快速调节装置进行了详细的设计，同时利用MATLAB仿真软件对所开发机床系统的低速运动特性和低速抗干扰特性进行了相应的仿真研究。　　2、对微细电解加工机床控制系统进行了详细的研究。首先介绍了运动机构控制硬件，硬件整体控制路线：CNC4840数控系统→驱动器→步进电机→工作台/工具电极；根据数控系统显示面板的尺寸及连接线路的布置等因素，进行了电气控制柜的设计，并对控制系统与机床的总体连线图和局部连线图做了详细的分析；加工间隙是影响微细电解加工精度的一个重要因素，最后对短路监测与保护、常规恒速进给方案做了介绍。　　3、在自行研制的微细电解加工机床上进行了微细孔和微细电极的试验研究。通过基础工艺试验研究了超声频率、脉冲频率、阴极进给速度、加工电压等工艺因素对Meso-scale级微细孔加工的溶解定域性、微细孔加工质量、间隙分布、成型质量等关键指标的影响规律；通过基础工艺试验研究了电极运动方式、加工电压、浸入深度、电源性质等工艺因素影响微细圆柱体电极（微细钨丝电极）电解加工成型精度和成型质量的机理及基本规律。