小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究

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小量程微机械压阻式加速度传感器实际中有较为广泛的用途,如汽车ABS系统、制导系统等都需要高精确度的小量程传感器。压阻式传感器功耗小、电路结构简单。小量程压阻式加速度传感器量程可达±1g,分辨率可达1mg,线性度优于0.5%。 论文的第一章讨论了MEMS技术的应用以及应用前景、微机械加速度传感器的种类和研究进展,还介绍了本工作用到的一些微机械加工方法。 第二章详细论述具有悬臂梁结构的压阻式加速度传感器芯片的工作原理、分析计算了器件的静态、动态特性和温度性能,在此基础上确定了结构参数。 第三章详细阐述了压阻式加速度传感器的制作工艺,包括芯片工艺和盖板工艺。针对工艺中存在的问题进行了分析。 论文第四章主要讲述了在传感器制作过程中发现的一些传感器设计上的缺陷以及在工艺上使用的一些改进方法以提高传感器的灵敏度、减小器件温度漂移和减小氧化硅薄膜张应力在小量程悬臂梁结构传感器中造成的梁的挠曲。 在第五章中,主要讨论了器件的横向效应,得到的一些结论可以用于指导加速度传感器的封装和安装以及测试。最后还给出了一个加速度传感器的应用实例,用加速度传感器制作了水平高低度测量仪。
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