【摘 要】
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由于现有商用在线曲率测量仪在硅方格图形衬底外延中无法使用,为了能获得Si图形衬底GaN外延生长过程中的应力变化信息,本文设计制造了一种在线曲率测量仪,并首次得到了硅方格图形衬底外延生长过程中外延片的曲率变化信息。本文首先说明了商用在线曲率测量仪在Si方格图形衬底中所遇到的问题,并介绍了本文所设计的在线曲率测量仪的测量原理和系统整体架构,以此为基础设计开发了测量仪的硬件和软件。接着本文详细介绍了硬件
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由于现有商用在线曲率测量仪在硅方格图形衬底外延中无法使用,为了能获得Si图形衬底GaN外延生长过程中的应力变化信息,本文设计制造了一种在线曲率测量仪,并首次得到了硅方格图形衬底外延生长过程中外延片的曲率变化信息。本文首先说明了商用在线曲率测量仪在Si方格图形衬底中所遇到的问题,并介绍了本文所设计的在线曲率测量仪的测量原理和系统整体架构,以此为基础设计开发了测量仪的硬件和软件。接着本文详细介绍了硬件各个功能模块(包括光路部分、机械传动部分和电子电路部分)的设计方案和元器件性能,详细说明了以Vi
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