铝及铝的化合物具有许多优良的性质。超薄铝膜由于其特殊的的光学性质,在光学多层膜上有广泛应用。氮化铝薄膜化学稳定性高、热传导率高、机械强度高、电绝缘性能佳、高能隙、热膨胀系数低,光学特性优良,可以用作大功率的紫外光学器件的散热材料。采用直流磁控溅射法溅射纯度为99.999%的铝靶制备了超薄铝膜。然后利用双光束分光光度计测定了其透光率,研究了透光性能与各制备条件之间的关系,发现,随着工作气压、基片温度、靶基距的增大,薄膜的透光率有不同程度的增大;但透光率随着溅射时间的增加而呈近线性下降。据此获得了制备光学超薄铝膜的最佳条件。AFM分析表明,获得的超薄铝膜具有较好的表面平整度。氮化铝薄膜样品是利用高纯铝靶,在氮气加氩气气氛下用直流和射频反应磁控溅射法制备的。对其透光率和导热率进行了测量。发现,随着工作压强的升高、靶距的增加,薄膜的透光率上升;基片温度的升高在非晶衬底上会导致样品透光率的下降;而氮气浓度和溅射时间对薄膜的透光率影响不大。并进一步得出了制备高透光率氮化铝薄膜的最佳工艺条件。X射线衍射结果表明氮化铝薄膜具有(100)和(110)面择优取向。XPS分析表明,薄膜中氮化铝的纯度随着基片温度的升高而增加。AFM分析也证实较高的基片温度有利于溅射粒子的扩散,薄膜表面粗糙度减小。本文选择了有代表性的三个点研究了LED灯的升温曲线。通过在LED上的模拟实验研究了导热涂层对LED灯的升温曲线的影响。发现在LED集成电路板上加入导热涂层能提高LED的散热效率,高导热率的导热涂层比低导热率的涂层在高发热量LED灯上能取得更好的散热效果,为氮化铝薄膜应用于LED封装的散热系统提供了参考数据。