锂铝硅系低膨胀微晶玻璃的制备及性能研究

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在微电子技术迅猛发展的今天,电子元器件不断向小型化、多功能化、集成化的方向发展,电子器件的集成度越来越高,这对电路的封装材料要求也越来越高。锂铝硅微晶玻璃由于具有高抗弯强度、低热膨胀系数、良好的介电性能,因此具有作为LTCC封装材料的潜能。本文将其选作为研究对象,通过对配方和机理的研究,制备出符合要求的LTCC封装材料。  本文采用熔融法制备锂铝硅微晶玻璃,研究了晶核剂、稀土氧化物掺杂对样品的晶相变化、微观结构、抗弯强度、热膨胀系数、介电性能的影响。研究表明,当ZrO2+TiO2复合掺杂的掺杂量不变,ZrO2含量较高的样品拥有更高的抗弯强度和更好的机械性能;在锂铝硅微晶玻璃中外掺La2O3,能够提升样品的抗弯强度和热膨胀系数,La2O3掺杂量为0.2wt%时,抗弯强度达到163MPa,热膨胀系数为2.64×10-6/℃,综合性能最佳;在锂铝硅微晶玻璃中外掺1wt%Sm2O3,样品拥有最低的介电常数(7.9)和介电损耗(1.23×10-3)、最高的抗弯强度(162MPa),综合性能最佳,继续增加掺杂量会恶化样品的微观结构,影响样品的性能;在锂铝硅微晶玻璃中外掺Cr2O3,能够改善样品的微观结构、显著提高样品的抗弯强度,Cr2O3掺杂量为3wt%时,样品拥有最为致密的微观结构和最高的抗弯强度(208MPa),综合性能最佳。通过对锂铝硅微晶玻璃的掺杂改性研究,提升了样品的性能,最终得到了性能优异的LTCC封装材料。  为了预测和控制微晶玻璃样品的热膨胀系数,本文借鉴已有的热膨胀系数计算模型,提出了氧化物法和晶相法两种热膨胀系数的计算方法。氧化物法从微晶玻璃配方的原材料入手,其计算值与实际测试值之间的误差很大;晶相法从微晶玻璃的组成入手,对残余玻璃相和各晶相分别进行了分析,得到的计算值与实际测试值相吻合,其误差在±15%以内,说明了可以通过控制微晶玻璃的析晶来调整热膨胀系数。  本文对锂铝硅微晶玻璃的析晶动力学进行了研究,分别采用Kissinger分析法和Ozawa分析法计算了样品的析晶活化能E,得到了相近的计算结果。采用Ozawa分析法计算了析晶指数n,结果表明本实验中的微晶玻璃为整体析晶。
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