【摘 要】
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MEMS器件由于尺寸小、质量轻、功耗低等优点得到世界范围内广泛的研究,但因不同种类的MEMS器件在封装需求以及工艺兼容性方面经常各有其特殊性,这对MEMS器件的封装提出了更高规格的要求,这对MEMS器件走向实际应用造成了一定程度上的阻碍。本文对课题组在研的三明治式高精度、大量程MEMS加速度计的实际封装进行了需求分析,为了确保MEMS加速度计在电容-位移信号检测方面的可靠性和灵敏度,实现封装腔体内
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MEMS器件由于尺寸小、质量轻、功耗低等优点得到世界范围内广泛的研究,但因不同种类的MEMS器件在封装需求以及工艺兼容性方面经常各有其特殊性,这对MEMS器件的封装提出了更高规格的要求,这对MEMS器件走向实际应用造成了一定程度上的阻碍。本文对课题组在研的三明治式高精度、大量程MEMS加速度计的实际封装进行了需求分析,为了确保MEMS加速度计在电容-位移信号检测方面的可靠性和灵敏度,实现封装腔体内外电信号的连接,需要加工包含电容极板阵列结构的玻璃上盖,对中间的弹簧振子结构进行封装,基于此提出了封装环
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心脏疾病是造成病残和死亡的常见疾病,全世界死亡人数中,约有1/3的人死于此类疾病。使用心电图诊断心脏疾病是目前最常用的方法,医院的传统监护设备和市场上的便携式监测设备通常都是通过监测单一心电信号来监护心脏类疾病,但是使用心电信号来监测心脏存在一些问题,依靠心电图仅能诊断心脏已经发生器质性病变的心脏类疾病,而把心电、心音、脉搏结合起来能够更全面地对心脏及血管健康情况进行判断。针对单一心电信号监测心脏
石油与天然气是海洋矿产资源中最为重要的资源之一。海底石油储量占全球石油储量将近一半的比例,然而由于当前相关技术尚不成熟,还有很多亟待解决的技术性难题,海洋矿产资源并没有被合理地开采与充分的利用。近些年各国不断投入大量人力物力用以开采海洋石油资源,以期减小燃料紧缺的压力。在进行海底资源开发的过程中,为了对各油井的油量与开采速度实现更好的控制与规划,通常需要对运输管道中的油气流量与流速等流动参数进行实
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