基于数字全息的微结构测量方法研究

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随着计算机技术的迅猛发展和CCD分辨率的不断提高,数字全息理论在不断完善,数字全息技术的应用也越来越受到重视。数字全息干涉技术的应用包括形貌测量、形变测量、三维图像识别等方面。随着工业技术的发展,精密化程度逐渐提升,精确无损检测也日益成为需求,数字全息干涉计量技术能够很好的完成这些要求。  本论文介绍了光学全息和数字全息技术的基本原理,对菲涅耳衍射理论进行了简介;利用频谱滤波法和光强相减法滤除了数字全息再现的零级光及共轭像,提高了再现像的质量;介绍了用二次曝光法对物体形变进行测量的方法;针对普通数字全息干涉计量技术只能直接测量微小形变的缺陷,提出了物体连续大变形的数字全息测量的方法,实现了对物体连续大变形的精确测量,并且能够获得待测物体上任意位置的连续形变量;设计了实验光路,搭建了实验台;在实验验证消除零级光改善再现像质量的效果之后,又获得了物体连续变形过程中典型中间状态的数字全息图;对相邻两个典型中间状态全息图进行组合再现,得到了反映这两个典型状态之间相对变形分布的干涉条纹;通过对干涉条纹的解读和分析,获得了微小形变量与位置之间的函数关系;处理函数关系后,获得了连续大变形位移的函数表达式,实现了测量过程。最后给出了误差原因分析以及解决方案。
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