微纳米三坐标测量机软件开发及其系统测试

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近年来三维微纳米测量技术受到了很大关注。由于超精密加工技术的迅速发展,出现了很多微尺寸构件,精密光学器件等零部件,它们的加工精度要求在微米和亚微米级别,这就要求检验这些零部件的三维测量设备的测量精度要在亚微米以下。基于当前的环境下,具有微纳米级精度的微纳米三坐标测量机由此而生。在原来实验室三坐标测量机程序模块的基础上,本论文对程序的改进工作如下:(1)之前的软件运动控制算法没有优化好导致机台运动过程中软件有时会出现报错现象,这样对软件稳定性造成一定影响,这个问题非常影响实验的进行。首要解决软件的稳定
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