为了满足光学精密加工隔离低频振动信号的需要，本论文对采用电磁作动器和被动隔振元件构成的低频精密主动隔振系统进行了理论建模分析和仿真。　　 首先对单级被动隔振系统进行了理论研究。由于被动隔振不能隔离低频振动信号，建立了以电磁作动器为主动控制执行装置的主动隔振系统，并建立了系统的动力学方程及状态空间模型，然后对所建立的隔振系统进行了建模分析。　　 其次阐述了现有的各种主动隔振控制方法，特别讨论了PID控制器的原理及设计方法，给出了以TMS320F2802为核心的数字控制器的硬件设计。应用Matlab软件对隔振系统进行计算机数值仿真。仿真结果表明，本论文所研究的基于电磁作动器的主动隔振系统在整个频段均具有很好的隔振效果，大大优于一般的被动隔振。　　 最后，概况本论文的主要工作、得出相关结论并对下一步的发展提出了自己的意见。