【摘 要】
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X射线镜面反射方法作为一种原子水平的、无损伤的探测技术,是研究薄膜结构和表面、界面状况的有力工具.本文把薄膜光学中的矩阵法应用到X射线波段,推导出了多层膜中X射线镜面
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X射线镜面反射方法作为一种原子水平的、无损伤的探测技术,是研究薄膜结构和表面、界面状况的有力工具.本文把薄膜光学中的矩阵法应用到X射线波段,推导出了多层膜中X射线镜面反射的反射强度递推公式.并详细讨论了实际界面的表征及其对X射线反射率的影响.在此基础上编制了X射线镜面反射的模拟程序.该程序有完整且易于扩充的数据库,适用于任意复杂结构的人工外延薄膜,具有使用简便、通用性好的特点.用X射线镜面反射技术,结合X射线双晶衍射技术研究了GeSi/Si异质结构、GeSi/Si台阶型多量子阱和SrTiO<,3>/BaTiO<,3>周期结构等几种人工外延结构,所得结果为薄膜生长工艺的改进提供了依据.
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