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电子信息产业及太阳能产业是我国经济的重要增长点,而硅晶片加工业对这两大产业的发展具有重要影响。但作为硅晶片加工中不可缺少的重要材料,硅晶片线切割用碳化硅微粉的国内制造技术水平较为落后。然而碳化硅微粉的提纯是碳化硅生产过程中最重要的一个环节,提纯的生产过程一般需要经过上百个甚至更多个工序,不同的工序要求对提纯罐中碳化硅微粉溶液的温度、液位、PH值、电导率、搅拌时间以及工序进行的时间等参量进行实时监测以保证符合工艺技术指标。这样才能确保产品质量合格,因此可以说对这些参量的监测关系到产品的成品率。
为此(受连云港市研磨厂委托)自行设计研制了集提纯罐溶液温度、液位、PH值、电导率、搅拌时间监测、实时过程提示与提纯工艺管理于一体的分布式监测管理系统。
在学位论文期间完成了整个系统的研制和调试工作(包括72台提纯工序智能化监测仪、主监控平台软件、质检终端平台软件)。该系统以支持ISP下载的8位微控制器AT89S52为下位机核心,以MFC作为上位机开发平台,以RS-485作为通信总线。在系统的设计上不仅达到了要求的功能指标,低成本的方案使系统更具有性价比的优势。本学位论文的主要内容为该系统的总体方案设计与论证、硬件设计(关键技术)、底层软件设计、系统软件开发(主监控平台软件开发和质检终端平台软件开发)、系统的抗干扰技术和软硬件调试方案,对系统的整个研制过程进行了详细的剖析。