应用于碳化硅微粉提纯工艺的分布式监测管理系统的研制

来源 :东南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zch_kitty
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
电子信息产业及太阳能产业是我国经济的重要增长点,而硅晶片加工业对这两大产业的发展具有重要影响。但作为硅晶片加工中不可缺少的重要材料,硅晶片线切割用碳化硅微粉的国内制造技术水平较为落后。然而碳化硅微粉的提纯是碳化硅生产过程中最重要的一个环节,提纯的生产过程一般需要经过上百个甚至更多个工序,不同的工序要求对提纯罐中碳化硅微粉溶液的温度、液位、PH值、电导率、搅拌时间以及工序进行的时间等参量进行实时监测以保证符合工艺技术指标。这样才能确保产品质量合格,因此可以说对这些参量的监测关系到产品的成品率。 为此(受连云港市研磨厂委托)自行设计研制了集提纯罐溶液温度、液位、PH值、电导率、搅拌时间监测、实时过程提示与提纯工艺管理于一体的分布式监测管理系统。 在学位论文期间完成了整个系统的研制和调试工作(包括72台提纯工序智能化监测仪、主监控平台软件、质检终端平台软件)。该系统以支持ISP下载的8位微控制器AT89S52为下位机核心,以MFC作为上位机开发平台,以RS-485作为通信总线。在系统的设计上不仅达到了要求的功能指标,低成本的方案使系统更具有性价比的优势。本学位论文的主要内容为该系统的总体方案设计与论证、硬件设计(关键技术)、底层软件设计、系统软件开发(主监控平台软件开发和质检终端平台软件开发)、系统的抗干扰技术和软硬件调试方案,对系统的整个研制过程进行了详细的剖析。
其他文献
混杂系统是由离散事件动态系统与连续变量动态系统相互混合、相互作用而形成的动态系统。混杂系统理论是控制科学、计算机科学、系统学和数学等多学科相互结合的产物,是传统
系统辨识是控制理论的重要内容,也是控制理论的基础。传统的系统辨识方法多是针对线性系统,对复杂非线性系统的辨识仍然显得比较困难。神经网络的出现为我们提供了新的出路,
随着科技进步,图像处理的开发周期、实时性、可维护性的要求逐渐提高。传统的软件实现方式很难满足实时性的要求,而FPGA的应用技术日益成熟,改变了此前ARM和DSP在数字图像处
随着电网非线性电力负载的不断增加,电网信号畸变越来越严重,非线性负载和电网之间的功率交换也变得复杂,这给电能的合理准确计量带来了许多新的挑战。在谐波干扰条件下,学者们经过分析电网中非线性负载发出谐波功率而线性负载吸收了有害的谐波功率的特点,提出了基波表电能计量的方法,解决了谐波干扰条件下电能的准确合理计量问题;在非平稳畸变信号条件下,针对电网信号中典型的畸变类型,学者们分别建立了非线性负载电参量的
超声波检测(Ultrasonic Testing)作为无损探伤的一种主要的检测手段,以其检测速率快、检测的精确度高、检测成本低并且对人体的零危害等特点广泛应用在无损探伤领域。但是超声
ARM微处理器的应用已经遍及工业控制、消费类电子产品、通信系统、网络系统、无线系统等各类产品市场,占领了32位RISC微处理器75%以上的市场份额。本文设计的基于JTAG接口的A
各行各业都时时刻刻受到火灾的威胁,每年因火灾造成的经济和物质损失高达数亿元。所以随时随地都要有防火意识和准备,消灭危险源,提高防火意识,预防为主。对于已经发生的火灾要做
循环流化床锅炉燃烧效率高,污染少,是国家重点推广的锅炉炉型之一。近年来,随着对节能及环保的要求越来越高,对锅炉燃烧系统的控制也提出了更高的要求。锅炉燃烧系统是一个复杂的
现场总线作为工业数据通信网络的基础,它不仅是一个基层网络,而且还是一种开放式、新型全分布式的控制系统。已受到世界范围的关注而成为自动化技术发展的热点。而由于工业现
目前,连续挤压设备生产的铜扁线表面缺陷的检测工作是依靠人的肉眼检查。而人的注意力往往容易受到外界各种条件的干扰或因连续工作而产生疲劳,因此检查结果可靠性难以保证。