移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式高精度测量技术,为了使大小各异的被测元件产生的干涉条纹尺寸大小一致而引入了变焦镜头,从而不可避免地导致干涉条纹亮暗不均匀和照度改变的问题,最终影响测量精度。由于移相干涉术对振动比较敏感,干涉仪通常放在实验室进行测量,这就大大限制了干涉仪的用途。为了解决上述问题,本文着重对光强的自动调节和干涉仪抗振进行了研究。根据光强是否在CCD线性响应区间这一结果来控制电机带动滤光片转动,实现了对光强的自动调节,从而减小测量误差。根据现有的测量方法和大量的实验结果,本文采用了单点式抗振技术来解决干涉仪的抗振问题。当振动引起干涉条纹变化时,控制压电陶瓷(PZT)移相器向相反方向移相来锁定干涉条纹相位不变,稳定干涉图保证测量精度。本文通过大量的光、电、计技术实现了干涉仪的智能化。通过了大量的实验证明了光强的自动调节和干涉仪的抗振结果,更好地促进了干涉仪的推广和运用。