单晶炉晶体提拉系统平衡研究

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提拉法单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列之一,用此方法单晶生长速度最高,晶体尺寸最大,晶体质量最好,最易实现自动控制,因此获得了最广泛的应用。而此方法生产高质量单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性,因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标,本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文首先介绍了单晶炉提拉系统的功能、结构特点以及工作原理;讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系统完全平衡的条件,以及提拉系统不平衡校正的方法。结合单晶炉提拉系统实际结构,进行了系统UG三维实体建模、动平衡数学建模、计算以及提拉系统动平衡仿真配平工作。系统动平衡分析、计算的结果证明,提拉系统配平效果即动平衡效果是比较好的。随后,针对某型号单晶炉提拉系统的实际结构,进行了提拉系统理论静不平衡量的大小、相位计算,三维软件UG建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验;完成了相关理论与实验数据的对比分析,根据分析结果,针对提拉系统加称重机构后质心较高,质量和体积较大,影响系统运转平稳性的缺点,提出了结构改进的方案并完成了改进设计以及相应构件的刚度、强度校核。结果证明这些改进措施使得改进后的系统在总质量、总体积、总质心以及平衡性等方面较原系统结构有很大改善,使提拉系统运转更加平稳、可靠。
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