【摘 要】
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基于MEMS技术的微型气相色谱系统采用MEMS微加工技术，使整个系统的体积大大减小，并且具有灵敏度高，分析速度快，应用范围广，便携性好等特点，可以方便地对混合气体进行现场检测。近年来更多的研究机构投入了这项研究。本文全面总结了基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究现状和最新进展，然后讨论了MEMS气相色谱柱的材料选择和形状设计，设计了九种不同长度和形状的MEMS色谱柱，确定了所有色谱柱的形状和具
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基于MEMS技术的微型气相色谱系统采用MEMS微加工技术，使整个系统的体积大大减小，并且具有灵敏度高，分析速度快，应用范围广，便携性好等特点，可以方便地对混合气体进行现场检测。近年来更多的研究机构投入了这项研究。本文全面总结了基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究现状和最新进展，然后讨论了MEMS气相色谱柱的材料选择和形状设计，设计了九种不同长度和形状的MEMS色谱柱，确定了所有色谱柱的形状和具体参数，长度分为6米、3米和1米，形状分为双螺旋形和S型两种。摸索并确定了色谱柱的MEMS制作
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