本文对一种高温压力传感器及测试电路进行了介绍,该压力传感器以MEMS硅压力敏感元件为核心元件,在其外部加特殊隔热材料和吸热材料,通过采用一系列的密封等工艺制成。这种传感器克服了普通压力传感器不耐高温的缺点和特制高温压力传感器价格高的缺点。工艺简单、制作周期短、耐高温、特别适合特殊环境使用。本文的主要内容包括:(1)详细介绍了高温压力传感器整体的设计思路,对所设及的理论原理和计算有较为详细的说明。(2)对传感器的热学计算进行了深入的分析,详细介绍了计算所依据的理论和相关参数的选取,并且通过热学仿真和实验对理论进行了验证,找到了最合适的方案。(3)在理论分析的基础上,充分介绍了传感器的静态和动态标定的实验方法及实验结果。(4)为保证传感器在实际工作环境中正常工作,对传感器整体结构做振动试验。(5)对传感器的相应测试电路做了完整的介绍。对信号调理、采集电路和相关软件都进行了介绍,并给出了采集结果。最后对全文做了总结,并对所设计的高温压力传感器做出了展望。