【摘 要】
:
磁控溅射已成为工业镀膜生产中最重要的技术之一,尤其适合于大面积镀膜生产。磁场分布在整个溅射过程中起着至关重要的作用,其磁场强度的大小、分布以及由以上诸因素决定了等
论文部分内容阅读
磁控溅射已成为工业镀膜生产中最重要的技术之一,尤其适合于大面积镀膜生产。磁场分布在整个溅射过程中起着至关重要的作用,其磁场强度的大小、分布以及由以上诸因素决定了等离子体的特性,从而对成膜质量、靶表面刻蚀区的均匀程度以及靶材的利用率均有影响,因此相关课题的研究具有重要的学术和应用价值。本文讨论了靶材刻蚀不均匀、膜层沉积速率低和均匀性不好等问题出现的原因,提出了解决问题的思路和方法,并且给出了磁场强度、磁场均匀性和磁体结构的设计原则,根据电磁场分布来判断设计结构是否合理。通过磁场的有限元模拟,分别分析了直跑道区域和端部区域磁钢结构参数对靶面磁场均匀性和强度的影响,磁体安装接缝及磁性能差异对靶面磁场的影响。分析指出磁钢削角能够增加靶面磁场平行度,削角大小对磁场平行度影响较小,但大削角明显削弱磁场强度;通过比较不同宽度和高度磁钢产生靶面磁场分布,得出一定靶结构参数下的磁钢优化尺寸;磁钢上方增加铁质匀磁片能够减小磁体安装接缝及磁性能差异对靶面磁场的影响;设计出一种新的磁钢排布结构,其在直道区域和端部区域内靶面磁场强度、磁场平行度及端部均匀性方面优于传统结构。设计了新型磁控溅射靶实验,利用其他学者对相近结构的实验来代替设计实验,间接验证了改进结构能有效提高靶面刻蚀均匀性,消除端部拐弯处刻蚀严重的现象,进而“相对”延长靶的寿命;并且证明通过均匀磁场分布来提高靶面刻蚀均匀性这一方法的合理性。
其他文献
基于现阶段数字图像处理课程的教学情况,为增进学生对理论知识理解,使学生能够将理论知识引入实际应用中。文中利用VC++6.0软件平台,对数字图像处理课程中的综合性设计实验进
随着改革的深入,电力企业在市场上面临的竞争越来越大,电力企业不得不通过自身的改革来寻找出路。本文寻找了电力大客户业扩工程中存在的问题,并提出了解决方案,为电力企业改
<正> 2010年1月14日,在深圳市政府四届一五五次常务会议上,研究审议并原则通过了《深圳市社会组织发展规范实施方案(2010-2012年)》和《推进政府职能和工作事项转移委托工作
文中分析最小二乘残差方法和奇偶空间方法的原理和方法,分别针对两种方法中的故障检测统计量构造、可用性判断、故障检测与故障识别等4个模块的运算量进行比较。提出一种基于
目的:盐酸氨溴索,又名沐舒坦(ambzoxol),系粘液调节剂,对呼吸系统有保护作用,为治疗哮喘的一线用药。目前,该药在国内、外只有缓释片剂上市,没有渗透泵控释剂上市。为了增加
<正>中国石油工程建设公司(英文缩写CPECC )成立于1980年.隶属于中国石油天然气集团公司,是集团公司专门从事石油工程设计、制造、施工和工程总承包的专业公司,现已发展成为
我国商业银行一度几乎垄断了国内所有的汽车金融服务业务、其简单地将风险转嫁给保险公司,导致了2003年保险公司退出汽车金融控制系统。当前银行缺乏对汽车经销商的制约、银
针对金融风暴背景下的股票市场价格的波动特性,应用数学分析、经济统计与计量知识,对中国上海、深圳股票综合指数2007~2009年的数据进行实验分析,并利用Matlab金融分析工具箱
我国加入WTO以后,对我国的银行业发展既是一个机遇也是一个挑战,它对我国金融业的发展有着里程碑的意义,也标志着我国的金融业改革进入了一个新的发展阶段,从此我国银行业的