1随着人们生活水平的提高，环境质量意识的加强，建筑美学的不断发展，建筑玻璃的多功能性越来越被重视，既要求它具有良好的透光效果和适当的视线遮挡功能，又要求它具有一定的环保节能性和色彩绚丽缤纷的美化装饰效果，这些要求传统的透明玻璃无法满足。本课题提出在普通平板玻璃片上镀制单层TiN薄膜，旨在寻找一种适合离线生产的简单经济的镀膜方法，制备集美观装饰及环保节能于一体的单层彩色镀膜玻璃。本研究用常温零偏压直流反应磁控溅射的方法，在普通载玻片上制备了TiN颜色薄膜。研究了工艺参数对薄膜性能的影响：采用XRD及EDS测试薄膜的结构及成分，UV-Vis测试薄膜的反射率，分光测色仪测量薄膜的色度值，AFM观察薄膜的表面形貌，显微硬度仪测试薄膜热处理前后硬度值等。主要得出了以下结论：（1）用直流反应磁控溅射的方法，可以在室温玻璃基片上沉积出颜色丰富的TiN薄膜，包括银白色、紫色、蓝色、绿色、黄色、橙色、紫红色及其中间色等。通过大量实验，得出制备TiN颜色薄膜比较稳定的工艺参数范围为：溅射功率：200~250W；氮氩流量比：0.4；工作压力：0.8~1.0Pa；沉积时间：15~20min。（2）将TiN薄膜镀层的厚度控制在200~350nm时，镀膜玻璃的透光率高于50%，可见光反射率在30%左右，对中远红外光的发射率高于40%，既能满足所需的采光要求，又有一定的视野遮蔽效果及节能效果。（3）室温下，在无定形的玻璃基片上沉积的TiN薄膜也是无定形的非晶相，这是因为薄膜的制备过程恰好比较容易的造成了形成非晶态的外在条件，即较高的过冷度和低的原子扩散能力。通过后期热处理，可以得到面心立方的TiN态薄膜，薄膜在最密排方向（111）方向具有择优取向的特点。结晶后的薄膜具有更高的硬度，更优良的耐腐蚀性能以及对红外光区域更高的光谱反射率。（4）结合自由载流子光吸收模型和薄膜干涉相长理论，可以解释薄膜的颜色随溅射功率的增大、时间的延长、氮氩流量比的增大都发生红移，随工作压力的增大先红移再蓝移的现象；（5）用紫外可见近红外分光光度仪得出了颜色薄膜的反射图谱，结果显示反射图谱中反射峰所处的位置决定了人眼所接收的薄膜的颜色。通过对薄膜干涉相长波长的估算，验证了薄膜的干涉增反理论。