本课题设定的目标是在硅基底上设计制作具有大深宽比三角形排列的二维光子晶体孔阵结构作为优质滤波器来达到光滤波的目的,这种滤波器的光反射率几乎达到100%。这个结构具有特别的光学特性可以对入射光的反射和透射行为进行控制,我们经过实验尝试得到了制造符合要求的光子晶体尺寸参数。本文总结了光子晶体结构参数对光滤波范围的影响规律,仿真得到激光干涉光束各参数对光子晶体结构的影响规律,并得到在可见光波段控制滤波的二维三角形光子晶体的尺寸。设计了三光束干涉光刻光路制造这个结构,并利用双光束干涉光刻制造线条纹在光刻胶上制作具有功能的线缺陷,之后利用化学方法刻蚀这个光刻胶以制造大深宽比的光子晶体结构。仿真验证了通过改变干涉光束入射角来改变光子晶体结构填充率的方法。并尝试利用双光束干涉在光子晶体中引入线缺陷。在实验中得到三角形光子晶体的晶格常数为1.07μm,介质柱半径为388nm,背景为空气,介质柱为硅柱,入射光为420nm波长的激光光束,根据仿真证实三光束干涉光刻即可得到这个结构,并在实验台上实际曝光得到了这个结构。此时入射光波长为405nm,入射角度为16度。制造所需的线缺陷时双光束的入射角度为2度。