【摘 要】
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声表面波声光移频器是研制光学陀螺仪中实现高精度Sagnac频差测量的一个集成光学核心器件。基于光学陀螺仪对声光移频器的技术要求,本论文对硅基光波导声光移频器技术进行了
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声表面波声光移频器是研制光学陀螺仪中实现高精度Sagnac频差测量的一个集成光学核心器件。基于光学陀螺仪对声光移频器的技术要求,本论文对硅基光波导声光移频器技术进行了深入研究。本文根据声光互作用的一般理论,详细论述了硅基光导波声光移频器件的工作原理,设计了声光移频器的结构并确定声光移频器参数,最后进行了器件的研制。该声光移频器以硅基二氧化硅为基片,在其双臂集成由ZnO压电薄膜构成的声表面波(SAW)叉指换能器。为了实现ZnO压电薄膜与其衬底间的附着力,我们采用了真空磁控溅射技术来制作薄膜,利用光刻工艺法来制备叉指电极。设计出各项参数保证了声光器件对光学陀螺的信号检测工作。
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