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氧化锌多孔薄膜的物理制备与氨气传感性能研究
【摘 要】
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氧化锌(ZnO)是一种常见的直接带隙宽禁带N型半导体氧化物,有着优越的光电性能,是最具有发展前景的金属氧化物半导体气敏材料之一。使用传统物理气相沉积方法制备的ZnO薄膜通常都较为致密且平整,在气体检测方面不具有优势。本课题提出通过磁控溅射及高温退火的方法,制备出氧化锌多孔纳米结构薄膜,并实现对氨气的快速响应。本课题主要工作包括:1、通过在SiO_2/Si基底上依次沉积超薄的银层(Ag)和100nm
【出 处】
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武汉理工大学
【发表日期】
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2020年01期
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