离子交换四分支光波导的设计,制备与特性测试

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玻璃基离子交换光波导器件以其低损耗、与单模光纤良好的匹配性以及低廉的成本,在集成光学中有着无可比拟的重要性、实用性及商用价值,在光通信领域有极大的应用前景。四分支波导是各种光波导器件的构成基础,具有重要的研究价值。本文求解并模拟了离子交换光波导的折射率分布模型,应用有限差分光束传输法FD-BPM模拟分析并设计了余弦型四分支波导;我们在K9玻璃基底上,应用光刻工艺技术,经过Ag+-Na+离子交换,制作玻璃基离子交换四分支光波导;设计建立起可以对光波导与光纤进行测试通光的实验装置,采用端面耦合技术,并实现了四分支光波导的通光实验。测试结果表明我们实验室已经具备了制作测试分支光波导的能力,为我们进一步优化离子交换条形光波导制作工艺提供了重要的依据和参考价值,为今后实验室中光功率分配器和光耦合器等集成光学器件的制作奠定了良好的基础。
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