卤素灯伺服放大器是应用于快速热处理设备的功率放大部件,具有数字闭环特性,能平稳的输入系统所需要的电流和电压,同时可以实时监控输入系统的能量。本文并不专门针对某一种加热结构进行分析,而是综合多种加热结构特点之后运用对比分析的方式进行综合的模拟分析从而提出只针对快速热处理这一方式的卤素灯伺服放大器设计研究。通常卤素灯伺服放大器作为快速热处理设备的关键部分,由于缺乏稳定的电流输入、电压输入、以及不能闭环控制等特点,阻碍了快速热处理设备的广泛应用。以往的卤素灯伺服放大器的设计是依据以MOSFET功率放大模块、可控硅或者GTR功率放大模块为功率放大核心部件,这种设计方法由于驱动电流大或是导通压降大、载流密度小等原因会出现不稳定的电流从而导致较大控制误差,影响控制精度,使得快速热处理设备的控制精度和控制稳定性难以提高。为了解决这一问题人们开始运用以IGBT功率模块为功率驱动核心元件,通过电流传感器检测输入卤素灯的电流,通过电压传感器检测输入卤素灯的电压,并以M57962L控制芯片驱动IGBT模块工作,以FPGA芯片为核心设计系统控制电路来完成输入卤素灯的电流闭环控制和电压闭环控制。本文详细阐述了卤素灯的伺服放大器的基本设计理论,包括对比分析各个加热系统的特点,并简要分析几种加热系统的机械结构、角系数计算以及加热稳定性分析,然后在此基础山提出可以应用于对这几种加热系统进行伺服驱动的伺服放大器的设计。本文重点放在对该伺服驱动放大器的元件选择、电路设计以及对各个部件电路和总电路的分析上。而对于加热系统的控制方法本文提出了一种能量迭代控制方法来系统的控制加热系统使得加热系统能更加精确稳定的进行快速热处理,但这种加热理论截至目前只做理论研究。最后简要的以该驱动电路为驱动部分以FPGA电路为系统控制部分,对现有加热系统进行驱动系统实验。通过对快速热处理设备加热系统的驱动控制电路的实验分析,得出应用于快速热处理设备的卤素灯伺服放大器可以在无超调的情况下实现了快速升温、高精度控制、系统稳定工作等目标。