基于数字闭环控制的宽量程复合真空计研究与实现

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复合真空计是用于测量真空度的工具之一,其性能指标将直接影响科研、生产任务的完成质量。随着科学技术的发展,进一步提高真空计测量指标与数字化程度,具有一定的研究意义和实用价值。论文目的是研究与设计一种由电离规和电阻规复合的宽量程真空计。  文章主要对直接影响高真空测量指标的稳定发射电流控制、离子流检测电路展开研究。首先明确高真空测量对电离规发射电流稳定的需求指标,结合被控对象特征,进行了常用控制算法在稳发射电流应用中的可行性分析,在此基础上,重点讨论了参数模糊自整定PID算法控制发射电流稳定的原理,对其功能进行仿真分析,并在单片机平台上实现了发射电流的数字闭环稳定控制。其次在对离子流信号的产生机理、检测影响因素进行分析后,选取基于T型电阻网络的改进型I-V转换法作为离子流信号检测方案,电路跨阻增益可切换、并对信号进行多级滤波以抑制噪声,使电路能够覆盖检测从皮安到微安的6个量级电流信号。  复合真空计测试从稳定发射电流、离子流信号检测功能模块电路和系统整机三个方面进行。结果表明,离子流信号测量范围1pA~6uA,测量分辨率0.2pA,噪声小于1.5mV;电离规发射电流、加速极、阴极对地电位示值误差及时间稳定度均小于±0.8%;电阻规1Pa~103Pa主要测量范围内,示值误差不超过±10%;电离规10-8Pa~10-1Pa测量范围内,等效离子流法测试示值误差不超过±1%。测试结果符合JBT10074-2004、JBT7463-2005等现行国家标准规定,能够满足一般工业生产及科学研究中的真空测量要求。
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