氧碘激光器因具有高储能,高效率,大气传输性能好,光纤传输损耗低等诸多优点,在军事、工业、医疗等许多领域都有着很好的发展和应用前景。目前比较成熟的化学氧碘激光器是采用化学方法产生单重态氧,这种方法存在诸多弊端,发展空间有限。近年来,以气体放电的方式产生单重态氧的新型单重态氧发生器逐渐成为研究的热点。本文对适合于射频激励单重态氧发生器的氧等离子体的特性进行了理论和实验上的研究。在理论上,本文对射频放电氧等离子体进行了数值研究,采用Frost和Phelps的方法求解Boltzmann方程,得到稳定放电时的电子能量分布,并探讨了E/N值及射频频率对电子能量分布的影响。对于四种不同的气体组成——O2:Ar:He:1:0:2, 1:2:4, 1:1:8, 1:5:30进行了进一步研究,计算出电子漂移速度、扩散系数、电离系数和附着系数,并给出了它们随E/N值变化的曲线,得出了自持放电时的E/N值范围。另外,给出了生成单重态氧过程的注入能量占总的注入能量的比例随E/N变化的曲线,得到了单重态氧生成过程的注入能量占总的注入能量的比例最高时的E/N值。在实验上,本文采用双探针法对等离子体的电子温度进行了研究。通过改变气体的组成、气压和射频激励脉宽等实验条件,确定了气压、射频脉宽、以及加入氩气或氦气对氧等离子体电子温度的影响:电子温度随气压的升高而降低,随着射频脉宽的增大而升高,而加入氩气或氦气,会使电子温度显著降低。