CrAlSiN涂层因具有良好的机械性能与耐磨耐蚀性能成为涂层领域研究的热点之一。本文通过电弧离子镀技术在316L不锈钢基体上沉积CrAlSiN涂层,采用扫描电镜（SEM）、多功能X射线光电子能谱（XPS）、透射电镜（TEM）、多晶X射线衍射仪（XRD）、电化学工作站、纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、划痕仪等设备分别对不同硅含量、不同偏压、不同过渡层的涂层表面结构、厚度、化学成分等进行了表征,同时对耐磨耐蚀等性能进行了研究。结论如下:（1）在硅含量为3.7%时,在海水条件下涂层表现出优异的综合性能,硬度值、摩擦系数、摩擦率分别为36.5 GPa、0.160、3×10^-7 mm³/N·m。（2）当偏压从-20V到-60V时,涂层表面的大颗粒减少,尺寸细化;负偏压的提高增强了轰击效果,致密度提高,硬度变大;-60V时,H/E,H³/E²值分别为0.100、0437 GPa,达到最高值;-40V时,摩擦系数、磨损率最小,自腐蚀电流密度最小9.47×10^-5 A/cm²,R_pore、R_ct达到最大值,涂层在耐摩擦耐腐蚀方面性能优异。（3）CrAlSiN涂层的微观结构主要有CrN相、AlN相以及非晶态Si₃N₄包裹CrN、AlN相,（111）择优取向最为明显。基于微观结构与过渡层的设计,CrAlSiN、CrN/CrAlSiN、Cr/CrN/CrAlSiN三种涂层硬度值依次增大,分别是32.1 GPa、35.5GPa、37.9 GPa;较之于316L基底,三种涂层致密的结构在海水环境下表现出较好的耐腐蚀性能,随着过渡层的增多,阻抗值增加;在大气和海水环境下,Cr/CrN/CrAlSiN涂层的摩擦因数及磨损率均表现最好,多层的设计对裂纹的萌生与扩展有抑制效果,能够抵制海水的渗透,磨痕光滑,未出现裂纹或剥落现象。