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高Mo含量CrMoCN基薄膜摩擦与腐蚀特性研究
【摘 要】
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长期处于高温、高湿、高盐度环境下的机械设备零部件会出现严重的摩擦、磨损和腐蚀问题,采用高Mo含量多元薄膜对零部件进行表面防护可以有效提高其耐磨性和耐腐蚀性。本文采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀膜设备通过控制Mo靶电流在TC4合金基材圆片和Si(100)表面制备高Mo含量的CrMoCN和Cr Mo Si CN薄膜。利用XRD、XPS和SEM等分别表征测试CrMoCN基薄膜的微观物相结构、化学键成分以及
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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