【摘 要】
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长光栅传感器是一种基于莫尔条纹原理的光电传感器，由于具有精度高、分辨力高、可以实现动态测量并且具有较强的抗干扰能力等优点，被广泛地应用于数控机床及精密测量设备等领域
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长光栅传感器是一种基于莫尔条纹原理的光电传感器，由于具有精度高、分辨力高、可以实现动态测量并且具有较强的抗干扰能力等优点，被广泛地应用于数控机床及精密测量设备等领域。目前对长光栅传感器的精度检测主要采用与激光测长仪器做对比的方法，但由于激光测长仪器对于环境要求高，测量效率低，不适合在生产现场进行大批量快速测量。 本文在长光栅动态精度测量仪机械控制系统设计基础上，设计了仪器的测量系统，研制了双路光栅信号高速计数卡，并开发了配套测控软件。具体内容如下: (1)测量系统设计:搭建了以高精度长光栅作为长度基准的长度测量系统;开发了基于SOPC技术的光栅信号计数卡，实现对光栅信号的采集、存储、传输等功能。 (2)测控软件开发:设计了基于Labwindows/CVI的长光栅传感器动态精度测量软件;实现了运动控制功能及运动速度、运动加速度等参数的设置;通过控制光栅信号采集卡对测量过程及测量间隔等参数的设置;通过分析误差数据获取准确度、回程误差、重复性精度;设计了数据存储系统及报表。 (3)实验研究:在该系统上对长光栅传感器在不同速度及加速度下的动态误差曲线进行了检测;通过实验验证了仪器设计的可行性，并通过对数据结果的分析获得了长光栅传感器动态误差与速度之间的关系。
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