玻璃基板搬运机器人主要应用于洁净自动化装备制造行业，实现玻璃基板在洁净环境下的自动化传输。这种机器人可适应洁净环境，具有对应玻璃基板尺寸的专用末端执行器，并可承受相应的负载。由于货架内玻璃之间的纵向摆放间距有限，还要求机器人具有较高的绝对定位精度。然而，由于机器人零位误差及运动学参数误差的存在，加之机器人末端在自身、末端手叉和基板的重力作用下产生的柔性变形，造成了玻璃基板机器人传输精度的下降，影响了玻璃基板传输的质量。　　 本课题以提高玻璃基板搬运机器人的绝对定位精度为研究目标，在对机器人的定位误差来源进行详细分析的基础上，确定将机器人的零位参数、运动学参数和柔性参数的辨识和补偿作为提高机器人精度的主要途径。基于机器人参数辨识的研究现状，重点从零位参数辨识方法、柔性参数误差模型与运动学误差模型的耦合关系、柔性参数辨识方法、柔性变形对运动学参数辨识效果的影响以及机器人定位误差综合补偿等方面开展研究工作。　　 首先，结合辨识法和几何法的优点提出了一种基于双轴倾角传感器的新零位标定方法，这种方法通过仪器的两次安装和对机器人的简便操作后即可完成整个零位标定。建立了新标定方法所涉及的参考零位和2轴零位获取方法及3～6轴零位辨识方法两大关键问题的理论依据，并对辨识过程进行了仿真。对新标定方法的可行性进行了实验，证实了所提出的零位标定方法可大幅降低机器人的定位误差，具有节省成本、操作简便、辨识精确的技术特点。　　 其次，建立了机器人运动学参数误差模型、关节柔性参数误差模型以及连杆柔性参数误差模型，并在此基础上结合DH模型和连杆弹性梁模型推导出运动学参数与柔性参数的耦合误差模型，为进行柔性参数的辨识和柔性变形误差的补偿奠定了基础。分别基于圆点分析法和有限元分析法完成了机器人关节和连杆柔度参数的辨识。在圆点分析法的应用中，为避免刚体运动对圆点测量精度的影响，增加了转动中心处的测量点，使最终测量得到的末端测量点轨迹更接近于圆弧，从而提高了关节柔度辨识的准确性。对柔性变形的计算结果进行了实验，证实了模型和辨识结果的准确性。　　 再次，利用最小二乘法建立了机器人运动学参数的辨识模型，并从提高辨识过程效率的角度出发，分别进行了参数辨识的灵敏度调整和测量位姿的选择优化。在此基础上，对机器人柔性变形对运动学参数辨识精度的影响进行了仿真分析，发现若不考虑柔性变形将造成参数辨识出现较大的偏差，为此提出基于柔性变形补偿的运动学参数辨识方法，并将其成功应用在SR210B型机器人的运动学参数辨识实验中。　　 最后，进行了机器人自身的运动学参数误差和柔性变形误差补偿实验，将机器人自身的定位精度提高到一个新的水平。针对玻璃基板在机器人手叉上的变形，提出了相应的变形调整方法，使机器人可满足玻璃基板的高速、高精度需求。