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差分反射光谱(Differential Reflectance Dpectrum)技术是一种重要的调制光谱技术.它是通过测量两样品或同一样品的两相临部分的反射率差别随入射光子能量的变化关系而得到的一种空间调制光谱.它兼有PR的非接触式测量和ER的高信噪比两方面的优点,因而在半导体材料的物理性质和光学性质的研究方面有很大的发展潜力,引起人胶的日益重视.论文第二章主要是调制光谱和差反射光的基本理论,简述了调光谱特点和DR测试系统组成.第三章主要是利用DR为对半导体异质外延膜材料GaAs/Si的空间非均匀性分析.论文第四章主 要是建立SDPR测试系统和利用该系统进行实验研究.