【摘 要】
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洛仑兹电机是一种以洛仑兹力直接驱动的永磁直流作动器，具有结构简单、动态响应快、线性性好等特点，被广泛地用作精密直线运动的驱动装置，如光刻机微运动工作台的驱动电机、精密主动减振器的作动器等。洛仑兹电机通过驱动电流控制电机阻尼力的大小和方向。论文针对一种用于IC制造装备的超精密主动减振器，设计了用于主动减振器的洛仑兹电机及其驱动器。首先，本文简要阐述了洛仑兹电机的工作原理和特点，计算出了电机的推力常数
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洛仑兹电机是一种以洛仑兹力直接驱动的永磁直流作动器，具有结构简单、动态响应快、线性性好等特点，被广泛地用作精密直线运动的驱动装置，如光刻机微运动工作台的驱动电机、精密主动减振器的作动器等。洛仑兹电机通过驱动电流控制电机阻尼力的大小和方向。论文针对一种用于IC制造装备的超精密主动减振器，设计了用于主动减振器的洛仑兹电机及其驱动器。首先，本文简要阐述了洛仑兹电机的工作原理和特点，计算出了电机的推力常数、电感和电阻等参数。在参数计算的基础上，自行设计了一套推力常数为68N/A的洛仑兹电机其
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