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随着MEMS技术的快速发展,各种微型器件逐渐问世。现有的检测MEMS器件的微纳米测头大都无法实时测量测力的大小、方向和作用位置,对于不同方向、大小的测力和探针受力变形等引起的测量误差无法实时修正。针对这些问题,本文通过对全剪切六维力传感器加以改进和微型化得到一种新型接触式微纳米测头。本文在微纳米测头的设计过程中主要展开了以下几个方面工作：阐述了纳米测量机测头以及六维力传感器的国内外研究现状；阐述了微纳米测头的基本要求,并介绍了微纳米测头的测量原理；通过对全剪切六维力传感器的改进和微型化,完成