SF₆气体绝缘开关以其优良的性能得到了广泛应用。SF₆关气体中的水分含量达到一定程度时，不仅会与电弧作用下的气体分解物反应生成毒性物质继而引起设备的化学腐蚀，而且会使固体绝缘水平下降引起绝缘闪络，严重影响设备的电气性能、机械性能和开断性能，造成许多严重的后果。 论文分析了现行SF₆气体中水分测量的方法及其弊端，提出了实施在线监测水分含量的必要性。提出了以相对湿度、温度和压力为特征量进行在线监测的方案，结合湿度理论，推导出了湿度换算公式。从三个特征量出发，计算电力系统常用的湿度度量值：露点温度、绝对湿度、体积比和质量比，以现行标准为参考，综合分析，作出水分是否超标的结论，并通过系统显示界面向用户显示测量结果和判断结果。 通过性能比较、分析并结合在线监测的具体要求，选择了具有物理吸附作用，且能在0-100％相对湿度范围内全程连续检测的电容式高分子薄膜湿度传感器。分析了湿度标定的各种方法，选取了饱和盐溶液法并制备了相应的标定装置对传感器进行了标定。试验表明该湿度传感器能够用于SF₆气体微水在线监测。同时选取了用于测量温度和压力的传感器。系统用一只温敏电阻作为测量SF₆气体温度的传感器，该传感器灵敏度高、响应时间迅速、耐湿、耐酸，能够适应SF₆气体测量环境。选用陶瓷压阻式压力传感器测量SF₆气体压力，该传感器自带温度补偿、体积小、精度高、稳定性好。设计并制作了传感器信号调制转换电路。 结合频率传送、信号隔离以及控制等硬件电路及软件，开发了SF₆微水含量在线监测系统。